[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 日本电子株式会社(JEOL Co. ltd)
购置日期 : 2018-01-10
规格型号 : JXA-8530F Plus
[ 分类信息 ]
设备类型 : 分析仪器, 电子光学仪器, 电子探针
设备编号 : 20000084
[ 联系信息 ]
联系人 : 张勋高
存放地址 : 测试中心C107
联系电话 : 18995654053
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
波谱，阴极发光，二次电子探头，背散射探头
能谱（ELECT SUPER,Detection Area 70 mm^2^, EDAX Inc.USA)
主要功能及特色 :
微区的表面形貌以及元素定性、元素的线、面分布；微区元素的准确定量；是典型的微米和亚微米尺度的分析技术。
主要规格及技术指标 :
二次电子像分辨率：≤3nm (30kV)，加速电压： 0 ～ 30kV；束流范围：10E-12 ～ 3×10E-6 A；图像放大倍数：×40～×300,000；
波谱系统：分析元素：4Be - 92U；分辨率Mn Ka 优于9eV，分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%)；
能谱系统：元素范围: 4Be-92U；分辨率Mn Ka 优于129eV，电制冷型（无需液氮，随时可用）。
