高真空磁控溅射系统
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : Angstrom Engineering Inc./Nexdep
购置日期 : 2018-09-18
规格型号 : Nexdep
[ 分类信息 ]
设备类型 : 物理性能测试仪器, 其他, 其他
设备编号 : 20000029
[ 联系信息 ]
联系人 : 刘泽
存放地址 : 力学楼103土木建筑工程学院
联系电话 : 17369202936
联系邮箱 : 785905812@qq.com
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
高通量制备合金微纳米厚度膜，可开发新材料或则结合超塑性纳米压印制备新的微纳米结构
主要规格及技术指标 :
镀膜精度：5nm；温度上限：500℃；最多支持三靶材共镀
