纳米力学综合测试系统
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : KLA Corporation
购置日期 : 2020-01-06
规格型号 : -
[ 分类信息 ]
设备类型 : 计量仪器, 其他, 其他
设备编号 : 20000085
[ 联系信息 ]
联系人 : 孙成亮
存放地址 : 先进制造与人工智能实验室207
联系电话 : 13163298928
联系邮箱 : caiyao999@whu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等
主要规格及技术指标 :
该系统的整机的框架刚度 >1.3 X 107N/m，不需要额外的主动减震台。 最大加载载荷：50mN 载荷分辨率： 3nN 位移分辨率：0.02nm 位移噪音水平：0.2nm 加载模式：电磁力加载 最大压入深度：45µm 数据采集率：100kHz 能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布 最大动态测试激发频率：1000Hz 电脑/隔音罩/标样及工具 连续刚度测试组件
