UPS, REELS, ISS, ARXPS, 分析室加热冷却装置(150K-1000K), 分析室原位光纤(200-800nm), 惰性气体样品传输仓等。
XPS可对周期表中除了H, He外的所有元素进行定性、定量和价态分析;结合离子刻蚀可进行片状或薄膜材料的深度分析;UPS可分析导电样品的价带结构,进行功函数的测量等
单色Al Ka大面积XPS:能量分辨率 (eV) 灵敏度(CPS)
0.5 400000
0.6 1000000
1.0 2500000
最佳空间分辨率优于20 um。
成像XPS空间分辨率优于3 um。