004 场发射电子探针

[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 日本电子株式会社(JEOL Co. ltd)
购置日期 : 2018-01-10
规格型号 : JXA-8530F Plus
[ 分类信息 ]
设备类型 : 分析仪器, 电子光学仪器, 电子探针
设备编号 : 20000084
[ 联系信息 ]
联系人 : 张勋高
存放地址 : 测试中心C107
联系电话 : 18995654053
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :

波谱(WDS),阴极发光(CL),二次电子探头(SEI),背散射探头(BSE),
能谱(ELECT SUPER,Detection Area 70 mm^2^, EDAX Inc.USA)

主要功能及特色 :

块状样品元素的准确定量;表面形貌以及元素定性、元素的线、面分布;是典型的微米和亚微米尺度的分析技术。

主要规格及技术指标 :

二次电子像分辨率:≤3nm (30kV),加速电压: 0 ~ 30kV;束流范围:10E-12 ~ 3×10E-6 A;图像放大倍数:×40~×300,000;
波谱系统(WDS):分析元素:4Be - 92U;分辨率Mn Ka 优于9eV,分析精度:好于1%(主元素, 含量>5%)和5%(次要元素, 含量~1%);
能谱系统(EDS):元素范围: 4Be-92U;分辨率Mn Ka 优于129eV,电制冷型(无需液氮,随时可用)。

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[ 开放机时安排 ]
[ 参考收费标准 ]