电子束蒸发设备
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : 科特莱斯科公司
购置日期 : 2011-01-04
规格型号 : PVD75
[ 分类信息 ]
设备类型 : 其他仪器, 其他, 其他
设备编号 : 11000001
[ 联系信息 ]
联系人 : 代伟
存放地址 : 文理学部文理学部东中区物理楼（物理学院A、B、C、附B、附C区）四层C-401C-403
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
蒸镀靶材：Ag、Al、Cu、Ni、Ti、Ge等金属；Al2O3、 MgO、 TiO2 等金属氧化物；MgF2、 SiO、 CaF2、 ZnS、 Si3N4 、ITO 、SiO2等无机物
主要功能及特色 :
高熔点材料蒸镀
主要规格及技术指标 :
可蒸镀最大4inch的基片；基片可加热至500℃，也可水冷；控制电压4-10kV；电子束电流0-500mA。；最低真空度2X10-7 Torr；四个材料源
