双束电子显微镜
[ 基础信息 ]
生产国家 : 荷兰
制造厂商 : FEI
购置日期 : 2013-05-13
规格型号 : Versa 3D
[ 分类信息 ]
设备类型 : 分析仪器, 电子光学仪器, 其他
设备编号 : 13000089
[ 联系信息 ]
联系人 : 代伟
存放地址 : 文理学部文理学部东中区物理楼二期（物理学院D区）二层D-106D-106
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
配有 Pt和C两种有机气源以及omniprobe探针
主要功能及特色 :
离子束刻蚀制备纳米结构阵列，TEM样品制备
主要规格及技术指标 :
versa 3D是集成聚焦电子束和聚焦Ga离子束的双束系统，器件最小制备线宽可达到20 nm。可以沉积Pt，C两种材料，配有omniprobe探针，可以实现TEM样品制备。
