拉曼光谱仪部分: 电镜内共聚焦拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500nm （532 nm激光），Z方向优于1500nm（532 nm激光），可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像。激发波长有488 nm，532nm，633 nm。

平插能谱仪和斜插能谱仪（EDS）：双探测器系统。
平插式能谱仪：1）具有极高的计数率，快速获得高质量mapping图像；
2）对小颗粒具有高空间分辨率，真正实现纳米尺度元素表征；
3）低电压优势，适合电子束敏感样品；
4）对不平整样品元素分布有较好的分布结果，没有阴影效应；
斜插式能谱仪：硅漂移（SDD）电制冷探测器。元素分析范围: Be 4～Cf 98

场发射扫描电镜具有较高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像（SE）、背散射电子像（BSE）观察及图像处理。广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。
该电镜配有平插能谱仪和斜插能谱仪，可用于表面的成分、元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量。
此外，该电镜配备有拉曼成像系统，激发光波长488 nm，532 nm，633 nm，可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像。

分辨率： 1.0 nm@ 30 KV 1.8 nm@ 1 KV
放大倍数：2 x– 1000,000 x（屏幕放大倍数）
加速电压：0.05-30 KV
探针电流：2 pA - 400 nA
样品室： 宽度340 mm x 深度 315 mm
样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm；Y = 130 mm；Z = 95mm；T = -3° - 60°；R = 360°连续旋转