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1、所有的成像同一个扫描器完成，扫描范围≥100μm×100μm×15μm，无需更换扫描器；更换针尖和样品不需要拆下或打断扫描头的校准。更换完针尖，针尖由电脑控制自动校准，回归到原来位置，误差< 5μm。 2、SPM扫描头：顶部侧面同时光学接入；全自动激光和发光二极管校准；红外激光1300 nm；系统噪音≤0.03 nm。 3、SPM扫描平台：闭环扫描器，非线性<0.05%；XY共振频率7 kHz；Z共振频率15 kHz；样品尺寸≥40×50×15 mm；扫描速度 ≥ 40 Hz。 4、SPM控制器：模块化全数字扩展控制器，数字信号处理器≥300 Hz，数模转换器≥500 kHz，通道≥20个，记录系统的频率范围≥5 MHz，2套频率范围为5 MHz的锁相放大器，8套数字32位发生器，5 MHz频率范围，0.01 Hz精确度，7步程马达控制。 5、噪音水平：电容传感器开启时，200 Hz频带宽度状态下，在XY方向噪音水平为0.1 nm；电容传感器关闭时，100 Hz频带宽度状态下，在XY方向噪音水平为0.02 nm；1000 Hz频带宽度状态下，Z电容传感器噪音水平≤0.04 nm。