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溅射镀膜机（溅射设备）
溅射镀膜机（溅射设备）
仪器编号
09000050
规格
生产厂家
ULVAC株式公社
型号
ACS-4000-C4
制造国家
日本
购置日期
2009-04-20
放置地点
物理学院B105八一路299号，武汉大学物理科学与技术学院
出厂日期
2008-03-26

主要规格及技术指标

用于各种金属、半导体、绝缘体薄膜的制备

主要附件及配置

*

主要功能及特色

磁控溅射生长模式下薄膜样品制备

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准

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