1 扫描方式:针尖扫描 2. 分辨率: XY方向<5nm、Z方向<1nm 3. 扫描范围: XY方向70um、Z方向70-120um,另外有30um和10um扫描器选配 4. 扫描步进: 70um扫描器<1nm、10um扫描器<0.1nm 5. 扫描器厚度: 7mm;重量:75克 6. 最大样品尺寸: 半径16mm
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近场光学模式的探测和分析