水、氧含量<1 ppm,泄漏率< 0.05 vol%/h,真空蒸镀腔腔体气压<1E-5 mBar,加热源温度上限400 °C,可蒸镀基板大小3.2 cmX 3.2 cm
Inficon IC/6膜厚控制系统,蒸镀速率控制精度0.01 A/s,膜厚控制精度1 A
溶液加工型有机电致发光器件制备