分辨率:X、Y方向0.1nm,Z方向0.03nm。最大扫描范围:90um×90um。样品尺寸:最大可放210mm样品。
E型扫描管、J型扫描管、双恒电位仪、电化学液体池
能够准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌,同时可对样品表面物理化学特性进行研究,如表面电势、磁场力、静电力等其它表面力的测量