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光刻机
光刻机
仪器编号
05000062
规格
生产厂家
ABM公司
型号
ABM/350/6
制造国家
美国
购置日期
2005-07-12
放置地点
微电子超净实验室纳米科学与技术研究中心 微电子超净实验室
出厂日期
2005-07-08

主要规格及技术指标

6#光刻面积红外双面对准

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准

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