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主要规格及技术指标

飞秒激光器：波长：1028 nm
平均功率：10 W@1028nm
重频：1 Hz - 1 MHz可调
脉宽：190 fs -10 ps可调
最大脉冲能量：>0.4 mJ@1028nm
光束质量：M2<1.2
2、激光倍频器：
波长：514 nm（SHG），343 nm（THG）
转换效率：>50%（SHG），>30%（THG）
3、精密定位平台：X+Y+Z1+Z2轴
行程：160×160×（60+5）mm
精度XYZ： ±300 nm
最大速度XY：50 mm/s
重复定位精度：±100 nm
4、二维扫描振镜：扫描角度：±20°
波长：1028nm，514 nm
口径：10 mm
重复精度：2 μrad
含514nm用F-Theta透镜，焦距160mm
5、电动衰减器：波长1028 nm，514 nm，343nm；功率调节：0-100%
6、电控偏振转换器：波长1028 nm，514 nm，343nm
7、聚焦光学元件：物镜和非球面镜头各3个
倍率 8× 6× 5× 5× 50× 63×油镜
焦距mm 25 30 40 40 4 3
波长nm 343 343 343 1028 / 514 514
数值孔径 0.48 0.39 0.29 0.14 0.42 1.4
8、功率计：最大探测功率10 W，探头口径10 mm，波长0.19 -20 μm
9、机器视觉：实时加工预览（共轴CCD），590 nm照明波长，分辨率1 μm （取决于所用物镜）
10、SCA软件：控制所有组件；可导入多种文件：DXF, DWG, STL, PLT, BMP, TXT；加工过程实时可见，易于使用，模型切片及阴影填充功能，先进的加工算法

主要附件及配置

无

主要功能及特色

用于硬脆材料、透明材料及金属材料的超高精度三维微纳结构刻蚀与加工