大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

1、飞秒激光器：
波长：1028 nm
平均功率：10 W@1028nm
重频：1 Hz - 1 MHz可调
脉宽：190 fs -10 ps可调
最大脉冲能量：>0.4 mJ@1028nm
光束质量：M2<1.2
2、激光倍频器：
波长：514 nm（SHG），343 nm（THG）
转换效率：>50%（SHG），>30%（THG）
3、精密定位平台：X+Y+Z1+Z2轴
行程：160×160×（60+5）mm
精度XYZ： ±300 nm
最大速度XY：50 mm/s
重复定位精度：±100 nm

主要附件及配置

无

主要功能及特色

飞秒激光微纳加工