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工业科学研究院
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MEMS 振动测量系统
自主上机
MEMS 振动测量系统
仪器编号
19000449
规格
MSA-600-V
生产厂家
Polytec GmbH
型号
MSA-600-V
制造国家
德国
购置日期
2019-09-11
放置地点
先进制造与人工智能实验室207室
出厂日期
2019-09-10
仪器详细信息
仪器预约信息
仪器公告
仪器收费标准
主要规格及技术指标
测量精度:pm,频率范围:0-25MHz。
主要附件及配置
无
主要功能及特色
MEMS振动测量系统用于微系统中三维运动的非接触式和非破坏性测量。
公告名称
公告内容
发布日期
暂无收费标准