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MEMS 差分式激光扫描系统
MEMS 差分式激光扫描系统
仪器编号
19000450
规格
MSA-I-600
生产厂家
Polytec GmbH
型号
MSA-I-600
制造国家
德国
购置日期
2019-09-11
放置地点
先进制造与人工智能实验室207室武汉大学先进制造与人工智能实验室207室
出厂日期
2019-09-10
主要规格及技术指标
1、激光波长：532 nm
2、激光安全：class 3R (< 5 mW visible output)
3、激光可通过PSV软件控制自动扫描测量点
4、激光点最小可达5um（10倍镜头），用户最高可选择高达100倍的显微镜头
5、内置摄像头，像素达1720 pixels x 1200 pixels
6、可与MEMS振动测量系统搭配使用
主要附件及配置
无
主要功能及特色
用于微机电系统微结构的静态形貌及高频动态机械振动特性测量
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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