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椭偏仪
椭偏仪
仪器编号
20000057
规格
M-2000V
生产厂家
J.A.Woollam Co.
型号
-
制造国家
美国
购置日期
2019-05-24
放置地点
化学与分子科学学院化西201八一路299号
出厂日期
2019-05-07
主要规格及技术指标
1、光谱范围：370-1000nm 2、变角方式：计算机控制自动变角，变角范围：45-90º 3、*补偿方式：旋转补偿 4、*测量速度：最快20Hz，典型全光谱1-3秒 5、测量正确度： 95%以上的被测点满足Ψ ≤ 45° ± 0.075°，Δ ≤ 0° ± 0.05°（直射测量，即测空气） 6、膜厚测量重复性：0.003nm （30次2nm SiO2膜厚测量的标准偏差)
主要附件及配置
无
主要功能及特色
膜厚测量
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
暂无收费标准
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