大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

该系统的整机的框架刚度 >1.3 X 107N/m，不需要额外的主动减震台。 最大加载载荷：50mN 载荷分辨率： 3nN 位移分辨率：0.02nm 位移噪音水平：0.2nm 加载模式：电磁力加载 最大压入深度：45µm 数据采集率：100kHz 能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布 最大动态测试激发频率：1000Hz 电脑/隔音罩/标样及工具 连续刚度测试组件

主要附件及配置

无

主要功能及特色

精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等