大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

该系统的整机的框架刚度 >1.3 X 107N/m，不需要额外的主动减震台。
最大加载载荷：50mN
载荷分辨率： 3nN
位移分辨率：0.02nm
位移噪音水平：0.2nm
加载模式：电磁力加载
最大压入深度：45µm
数据采集率：100kHz
能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布
最大动态测试激发频率：1000Hz
电脑/隔音罩/标样及工具
连续刚度测试组件

主要附件及配置

无

主要功能及特色

用于材料微纳米尺度的硬度、弹性模量及划痕特性的纳米压痕测试分析