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主要规格及技术指标

1)系统包括-个中转室,两个共蒸发室,三 个磁控溅射室和一个进样室,采用316不锈钢 制造而成; 2)中转室极限真空5*10-5 Pa, 采用手动旋转式导轨型样品传递机构,进样 室、各功能室通过6个CF150法兰接口均匀分 布在中转室周围，中转室上接有一-个小型储 样室，可储存115 mr m 1*130 mm*9 mm样品 五个; 3)进样室极限真空度5*10-5 Pa,配 有150 oC烘烤装置，可储存115 mm*130 mm*9 mm n样品五个; 4)射频溅射A室极限 真空度5*10-5 Pa,单层腔体，样品台可旋 转、升降,加热温度250 oC,底部安装四个 进口磁控溅射装置， 配两路气体流量控制装 置, ;射频溅射B室底部安装三个进口磁控溅| 射装置,其他与A室相同。 5)直流溅射室极 限真空度5*10-5 Pa,单层腔体,样品台可旋| 转、升降,加热温度250 oC,底部安装三个 进口磁控溅射装置， 配两路气体流量控制装 置; 6)两个共蒸发室极限真空度5*10-8 Pa, 双层腔体，配有束流计、膜厚仪探头, 样品台可旋转、. 上下升降,加热温度800 oC，底部开8个CF100的口用于安装束源 炉;所有冷却水配有断水报警功能。所有腔 室配有旁抽阀，放气阀，照明装置，观察窗 等。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

沉积太阳能电池