大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

1)系统包括-个中转室,两个共蒸发室,三
个磁控溅射室和一个进样室,采用316不锈钢
制造而成; 2)中转室极限真空5*10-5 Pa,
采用手动旋转式导轨型样品传递机构,进样
室、各功能室通过6个CF150法兰接口均匀分
布在中转室周围，中转室上接有一-个小型储
样室，可储存115 mr
m
1*130 mm*9 mm样品
五个; 3)进样室极限真空度5*10-5 Pa,配
有150 oC烘烤装置，可储存115 mm*130
mm*9 mm
n样品五个; 4)射频溅射A室极限
真空度5*10-5 Pa,单层腔体，样品台可旋
转、升降,加热温度250 oC,底部安装四个
进口磁控溅射装置， 配两路气体流量控制装
置, ;射频溅射B室底部安装三个进口磁控溅|
射装置,其他与A室相同。 5)直流溅射室极
限真空度5*10-5 Pa,单层腔体,样品台可旋|
转、升降,加热温度250 oC,底部安装三个
进口磁控溅射装置， 配两路气体流量控制装
置; 6)两个共蒸发室极限真空度5*10-8
Pa, 双层腔体，配有束流计、膜厚仪探头,
样品台可旋转、. 上下升降,加热温度800
oC，底部开8个CF100的口用于安装束源
炉;所有冷却水配有断水报警功能。所有腔
室配有旁抽阀，放气阀，照明装置，观察窗
等。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

沉积太阳能电池