(1)X射线能量:<10keV(2)靶材:固体Cu靶,可更换Mo\Ag等多种靶材(3)X射线脉冲脉宽:<10-12s(4)Kα光子通量(ph/s):>108 ph/s(5)X射线束流源空间尺寸(µm):≤50 µm (FWHM)(6)X射线准直组件:毛细管/多层膜(7)样品处焦斑(µm):≤200 µm(FWHM)(8)样品处的Kα光子通量(20mJ):≥107 ph/s(Cu)相关配套。
无
微观缺陷的产生和演化过程研究