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主要规格及技术指标

1. 干涉仪口径4英寸，光路结构：水平；
2. 波长632.8nm,可调谐激光器；输出功率>3mw；频率稳定度优于0.0001nm；
3. 高精度平面镜头：精度λ/20PV@λ=632.8nm；可选配更高精度，精度λ/50PV@λ=632.8nm；
4. 平台台面精度等级：“00”级，即台面整体平面度优于0.01mm；
5.大口径基准平面反射镜镜面面形精度：RMS优于λ/60（其中，λ=632.8nm）；
大口径长焦距平行光管出瞳波前误差：RMS优于λ/15（其中，λ=632.8nm）；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

主要用于光学元器件表面和光波前的非接触3D测量，为各种光学零件的表面形态提供纳米级的精确测量，在空间光学载荷的光机装调、光学元件检测等应用中体现了极高的价值和性能。