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主要规格及技术指标

最小步长0.0001，角度重现性0.0001。

主要附件及配置

主要配置：光管（固定Cu靶），CBO系统（聚焦光路/平行光路），模拟点光源，狭缝系统，测角仪，二维检测器，CCD自动定位系统
附件配置：标准样品台，ASC48位样品台，XY-20mm样品台，高温样品台，毛细管样品台，4英寸晶片样品台，准直管样品台

主要功能及特色

用于多晶材料物相分析，可实现粉末样品、块状样品的物相分析。平行光路模块可对薄膜样品进行掠入射分析等。微区模块可实现选区和对所选点自动逐点测量。高温模块可升温至1450℃，实现原位物相分析。