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主要规格及技术指标

单色Al Ka大面积XPS：能量分辨率 （eV） 灵敏度(CPS)
0.5 400000
 0.6 1000000
1.0 2500000
最佳空间分辨率优于20 um。
成像XPS空间分辨率优于3 um。

主要附件及配置

UPS, REELS, ISS, ARXPS, 分析室加热冷却装置（150K-1000K), 分析室原位光纤（200-800nm), 惰性气体样品传输仓等。

主要功能及特色

XPS可对周期表中除了H, He外的所有元素进行定性、定量和价态分析；结合离子刻蚀可进行片状或薄膜材料的深度分析；UPS可分析导电样品的价带结构，进行功函数的测量等