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主要规格及技术指标

二次电子像分辨率：≤3nm (30kV)，加速电压： 0 ～ 30kV；束流范围：10E-12 ～ 3×10E-6 A；图像放大倍数：×40～×300,000；
波谱系统(WDS)：分析元素：4Be - 92U；分辨率Mn Ka 优于9eV，分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%)；
能谱系统(EDS)：元素范围: 4Be-92U；分辨率Mn Ka 优于129eV，电制冷型（无需液氮，随时可用）。

主要附件及配置

波谱(WDS)，阴极发光(CL)，二次电子探头（SEI），背散射探头（BSE）,
能谱（ELECT SUPER,Detection Area 70 mm^2^, EDAX Inc.USA)

主要功能及特色

块状样品元素的准确定量；表面形貌以及元素定性、元素的线、面分布；是典型的微米和亚微米尺度的分析技术。