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主要规格及技术指标

项目 技术参数
观测倍率 15~30,000倍
加速电压 5KV，15KV可调
观测模式 低真空（标准模式、减轻荷电模式）
最大样品尺寸 直径70mm
最大样品厚度 50mm
样品可移动范围 X：±17.5mm、Y: ±17.5mm
图像存储像素 640x480像素、1,280x960像素
图像格式 BMP、TIFF、JPEG
真空系统 涡轮分子泵：30升/秒 1台
隔膜泵：1立方米/小时 1台

主要附件及配置

无

主要功能及特色

日立首创了台式电镜这一类型产品，它一改已往扫描电镜体积大、安装环境苛刻、操作复杂等缺点，体积小巧可以在普通试验台上安装使用，同时操作简易，配置高灵敏度背散射电子探测器和低真空模式，样品基本不需要制备，可以直接观测。日立台式电镜的操作像数码相机一样自动操作，即使没有电镜知识和使用经验的人员也可以获得满意的高倍率、大景深电镜图像，另外还安装了能谱仪，可实现元素分析。