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主要规格及技术指标

1. 空间分辨率： z 向<1pm (在液氦温度及0.1nA电流下)； 2. 热漂移： x, y 方向 <0.1nm/h; z 方向 <0.01nm/h在液氦温度下)； 3. 压力： 制备腔， 1.1×10－10 mbar; 分析腔，1.1×10－10 mbar （烘烤后）； 4. 温度：5k-300k的扫描环境； 5.噪音：Z-noise <1pm ； 6. 最小电流分辨率：外置电流放大器， 1.2pA； 内置电流放大器：100fnA； 7. 原子力显微镜：频率分辨率：2Hz; 最小调制振幅：<50pm；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

在超高真空中，对衬底进行加热或者冷却的条件下，利用分子束外延的方法制备薄膜样品，并且利用扫描探针显微镜在超高真空-低温中对已经制备的薄膜和纳米结构的形貌和电子结构进行测量。