1纳米压痕测试1.1 静态纳米压痕模式:*a) 压头总的位移范围:1.5mmb) 最大压痕深度:500mc) 位移分辨率:0.02nmd) 加载模式:电磁力加载(或其它合格加载模式)e) 位移测量:三片电容位移传感器*f) 最大载荷:500mN
无
微硬度