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电子束蒸发设备
电子束蒸发设备
仪器编号
11000001
规格
生产厂家
科特莱斯科公司
型号
PVD75
制造国家
美国
购置日期
2011-01-04
放置地点
文理学部文理学部东中区物理楼（物理学院A、B、C、附B、附C区）四层C-401C-403
出厂日期
2009-04-29
主要规格及技术指标
可蒸镀最大4inch的基片；基片可加热至500℃，也可水冷；控制电压4-10kV；电子束电流0-500mA。；最低真空度2X10-7 Torr；四个材料源
主要附件及配置
蒸镀靶材：Ag、Al、Cu、Ni、Ti、Ge等金属；Al2O3、 MgO、 TiO2 等金属氧化物；MgF2、 SiO、 CaF2、 ZnS、 Si3N4 、ITO 、SiO2等无机物
主要功能及特色
高熔点材料蒸镀
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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