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双束电子显微镜
双束电子显微镜
仪器编号
13000089
规格
生产厂家
FEI
型号
Versa 3D
制造国家
荷兰
购置日期
2013-05-13
放置地点
文理学部文理学部东中区物理楼二期（物理学院D区）二层D-106D-106
出厂日期
2011-05-10
主要规格及技术指标
versa 3D是集成聚焦电子束和聚焦Ga离子束的双束系统，器件最小制备线宽可达到20 nm。可以沉积Pt，C两种材料，配有omniprobe探针，可以实现TEM样品制备。
主要附件及配置
配有 Pt和C两种有机气源以及omniprobe探针
主要功能及特色
离子束刻蚀制备纳米结构阵列，TEM样品制备
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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