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低温镀膜机
低温镀膜机
仪器编号
11000166
规格
生产厂家
beneq oy公司
型号
tfs-200
制造国家
荷兰
购置日期
2011-07-04
放置地点
物理学院D1015-101
出厂日期
2009-11-04
主要规格及技术指标
低温生长薄膜样品，可在200度以下生长氧化铝等高k介质薄膜，和氧化锌等半导体薄膜。 生长温度：20-450 ℃。
主要附件及配置
无
主要功能及特色
原子层沉积设备生长薄膜样品
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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