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探针式轮廓仪
探针式轮廓仪
仪器编号
17000274
规格
D-600
生产厂家
KLA-Tencor
型号
D-600
制造国家
美国
购置日期
2017-10-08
放置地点
物理学院新楼, D-108, D-108D-108
出厂日期
2017-09-01
主要规格及技术指标
1.垂直高度仪器分辨率好于或等于0.1 纳米;
2.测试高度方向的重复性好于或等于0.5 纳米;
3.探针压力：不小于 0.05毫克-15毫克范围;
4. 扫描长度：单程>55mm
主要附件及配置
扫描针尖曲率半径 2微米
主要功能及特色
用于薄膜厚度的快速测量；提供三维扫描功能、应力测试功能
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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