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热蒸发系统
热蒸发系统
仪器编号
15000190
规格
JSD400
生产厂家
安徽嘉硕真空科技有限公司
型号
JSD-400
制造国家
中国
购置日期
2015-09-07
放置地点
物理学院新楼, D-108D-108
出厂日期
2015-09-07
主要规格及技术指标
1.样品台可容纳4英寸标准硅片，可由室温加热至300℃，可以旋转样品台；
2.生长金膜的均匀性对于2英寸片子，100 nm厚，优于5%；
主要附件及配置
无
主要功能及特色
可蒸镀金属：Au、Ag、Cr、Al等
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
暂无收费标准
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