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紫外光刻机
紫外光刻机
仪器编号
15000088
规格
生产厂家
四川南光真空科技有限公司
型号
H94-37
制造国家
中国
购置日期
2015-05-01
放置地点
物理学院新楼, D-106D-106
出厂日期
2015-03-01
主要规格及技术指标
1.线条分辨率（正面）：对于1微米厚的光刻胶，1微米的线条可以分辨，严格控制实验条件可以达到掩膜板宽度比1：1；
2.紫外光均匀性在6‘’直径面积内<3%；
3.光强可调，在365 nm波段最大输出优于15mW/cm2；
4.正面对准精确度（密着时的偏移）优于1微米
主要附件及配置
具有承载不同样品大小的板架和承片台
主要功能及特色
具有正面曝光、套刻、双面对准功能
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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暂无收费标准
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