双束聚焦离子束微纳加工设备
仪器编号
20000060
规格
生产厂家
捷克共和国泰思肯
型号
GAIA 3 XMH
制造国家
捷克
购置日期
2017-10-09
放置地点
物理学院D-B108
出厂日期
2017-07-09

主要规格及技术指标

二次电子分辨率:<0.7nm@15kV(In-Beam SE), <1.0nm@1kV (减速模式) ;背散射电子分辨率:<2.0nm@30kV (In-Chamber BSE), <1.6nm@15kV (In-Beam LE-BSE);FIB分辨率:<2.5nm@30kV

主要附件及配置

主要功能及特色

TEM样品制备

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准