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主要规格及技术指标

加速电压：80 kV, 200 kV
极靴类型：高分辨极靴
点分辨率：0.23 nm (200 kV)
晶格分辨率：0.104 nm (200 kV)
扫描透射附件分辨率：0.19 nm
放大倍数误差：±5%
样品室真空度：优于2×10-5 Pa
能谱分辨率（100 mm2）：133 eV

主要附件及配置

日本电子超级能谱仪，探测器检测面积为100mm2

主要功能及特色

主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构、成分分析。可拍摄TEM BF/DF image、SAED pattern、HRTEM image、STEM EDS mapping等