"1. 三维移动:其中X-Y-Z压电量程300um×300um×300um,压电扫描速度100um/s,移动精度10nm; 2、微动平台自动控制软件:自动控制样品三维运动(并在运动过程中控制激光的曝光),设计三维运动轨迹,统计三维运动数据,周期性微纳结构文件设计(包括设计木堆积结构、Gyroid三维结构),三维压电平台振动分析,聚焦光斑模拟(线偏振光、圆偏振光、径向偏振光和角向偏振光斑通过高倍物镜后的聚焦光斑模拟)等功能; 3. 自动控制硬件:27inch显示屏,i7 处理器,8G内存,500G硬盘"
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