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主要规格及技术指标

厚度，电压电流，速率

主要附件及配置

主要配件包括分子泵(进口)，机械泵（进口），插板阀(进口)，角阀（进口），充气阀(进口)，真空计(进口)，磁流体(进口)，磁流体(进口)，观察窗，机架，真空腔体，样品架，样品挡板，蒸发源，蒸发源挡板，气缸(进口)，伺服电机(进口)，蒸发电源，大电流插头座，膜厚控制仪(进口)，水冷膜厚探头，显示器，工控机，电源系统，真空配件，掩膜板等。

主要功能及特色

蒸发镀膜是在较高真空度条件下加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。通过晶振片检测以及仪器软件设定，可以得到特定膜厚的薄膜。