箱体一(蒸镀测试手套箱)
箱体尺寸约为 1200mm×750mm×900mm。 2只丁基橡胶手套。
箱体二(旋涂制备手套箱)
箱体尺寸约为 2700mm×750mm×900mm,且在中间用隔板隔开且使用标准滤芯连接,箱体分两节中间法兰连接。 5只丁基橡胶手套。
高效气体纯化系统:氧气和水的吸附量分别为60L和2kg,吸附饱和后可再生。
控制系统:可自动监测手套箱泄漏率:设定自动监测,
无缝对接涂布设备保证整体泄露﹤0.02vol%/h
H2O﹤1ppm ,O2﹤1ppm 洁净度100级
温控精度<± 3°C
式:狭缝涂布;涂布有效宽度100mm,涂布速度1-50mm/s。
无
制备太阳能电池
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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