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主要规格及技术指标

箱体一（蒸镀测试手套箱） 箱体尺寸约为 1200mm×750mm×900mm。 2只丁基橡胶手套。 箱体二（旋涂制备手套箱） 箱体尺寸约为 2700mm×750mm×900mm，且在中间用隔板隔开且使用标准滤芯连接，箱体分两节中间法兰连接。 5只丁基橡胶手套。 高效气体纯化系统：氧气和水的吸附量分别为60L和2kg，吸附饱和后可再生。 控制系统:可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测， 无缝对接涂布设备保证整体泄露﹤0.02vol%/h H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm 洁净度100级 温控精度＜± 3°C 式：狭缝涂布；涂布有效宽度100mm，涂布速度1-50mm/s。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无