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主要规格及技术指标

"1.真空腔室：真空专用304 不锈钢腔室镜面抛光处理，前门导轨采用进口双导轨设计，避免右侧导轨伸出到手套箱一侧，节省手套箱空间的同时外观更协调。，后门采用手动铰链结构，；前后门带玻璃观察窗，含防污挡板，真空室内外表面抛光处理。腔室预留 有照明和膜厚仪等设备接口； 2. 真空系统（全进口）：日本大阪真空TG1100F 分子泵+爱德华兹NXDS-15 涡轮干泵真空系统,HTC 气动插板阀，真空测量： 一个Inficon MPG400 全量程真空计（量程从大气到3E-9torr） 3. 真空极限：优于1.0×10-5Pa；漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12 小时后，真空度≤5Pa； 4.抽速：抽气时间：大气压~5*10-4Pa 小于25min 5. 基片台：抽屉式结构，承载最大小于120*120 样品，配气动挡板。样品台可加热（预留）。基片与蒸发源距离可调，可调节最大距离0～50mm 可调。样品台旋转：样品片台可旋转，0～30 转／分连续可调。样品台配备热电偶检测样品实时温度。 6. 金属蒸发源及电源：配4 组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构（钨舟；舟容积0.3mL）；配备进口日本TDK 蒸发电源1 套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带数显。 7. 有机蒸发源：配备有机束源炉2 组，对心角度可调，配备独立挡板，进口日本导电温控仪精确控温电源2 套。 8. 控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制；可输入速率及终厚，PID 调节自动控制蒸发电源输出。 9. 报警及保护：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 10. 细节设计：抽气口加装过滤网，气路设计避免扬尘，放气阀采用可调流量电磁阀门程序控制开启大小实现放气流量可控。"

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无