大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

分辨率：0.7nm (加速电压为15kV时)；1.2nm (加速电压为200V时)
加速电压：50V ~ 30kV，10V连续可调
放大倍数：×5 ~ ×2,000,000
束流范围：2pA ~ 400nA
样品室：最大可装载直径为150mm的样品，装样最大高度10mm，
样品台：五轴（X, Y, R, Z, T）马达全自动控制（行程：X轴80mm；Y轴60mm；Z轴44mm；倾斜-80到80度；旋转360度）
真空系统：10-8Pa数量级，更换样品抽真空时间小于3分钟
冷却循环水箱：控制精度±0.1℃

主要附件及配置

能谱仪 用于能谱分析

主要功能及特色

观测SEM图像