005 离子溅射仪
仪器编号
11000019-1
规格
金靶
生产厂家
JEOL公司
型号
JFC 1600
制造国家
日本
购置日期
2011-01-25
放置地点
测试中心C106
出厂日期
1999-04-01

主要规格及技术指标

金、铂靶

主要附件及配置

金靶

主要功能及特色

配套扫描电镜SEM、电子探针观察不导电样品处理系统以及均匀高导电率的电极薄膜制备

公告名称 公告内容 发布日期

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