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主要规格及技术指标

分辨率SEM:0.6 nm @ 15 kV；0.9 nm @ 1 kV
FIB: 2.5 nm @30 kV.
STEM探测器分辨率：0.5 nm @ 30 kV
放大倍数：2 x - 2,000,000 x
加速电压：0.2 - 30 kV
SEM探针电流：2 pA - 400 nA
EBL 分辨率：50 nm
EDS能量分辨率优于127eV

主要附件及配置

STEM探测器：对薄片样品进行形貌、晶体结构分析；
能谱仪：EDAX SIN窗口 70 mm2能谱仪（Octane Elite Super）能量分辨率优于127 eV

主要功能及特色

聚焦离子束-电子束双束电镜（SOLARIS GMH）具有较高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理;
可对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。该电镜广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。此外，本台电镜上配有能谱仪（EDS），可用于样品表面的成分分析，可进行元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量。