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主要规格及技术指标

扫描电子显微镜（SEM）
分辨率： 0.9 nm@ 15 KV 1.2 nm@ 1 KV
放大倍数：2 x– 2000,000 x（屏幕放大倍数）
加速电压：0.05-30 KV
探针电流：2 pA - 400 nA
样品室： 宽度340 mm x 深度 315 mm
样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm；Y = 130 mm；Z = 95mm；T = -60° - 90°；R = 360°连续旋转

主要附件及配置

无窗能谱仪（EDS）
采用无窗SDD硅漂移电制冷探测器，无需任何形式背散射电子过滤膜，彻底消除窗口材料对X射线的吸收，极大提高对轻元素的分析能力和元素分析范围，探测器采用椭圆形设计，有效晶体面积100mm2，电子陷阱和准直器一体化，更加靠近样品，工作距离≤5mm
电子背散射衍射附件（EBSD）
高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024
EBSD在线解析标定速度3000pps，此时花样分辨率仍能保持为128*156。电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096，取向精度优于0.05度；

主要功能及特色

该电镜具有高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。
该电镜上配有无窗超级能谱仪（EDS），可用于表面的成分分析，可进行元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量
该电镜上配有电子背散射衍射附件（EBSD）