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主要规格及技术指标

载荷范围：0-500mN，载荷分辨率：≦3nN，显微镜定位精度：0.4m，，最大放大倍率2000X，样品台马达移动分辨率：20nm。最大压痕深度：20m，压痕深度分辨率：0.002nm，热漂移：0.004nm/s

主要附件及配置

无

主要功能及特色

硬度和模量测试，获得载荷和位移曲线，连续压入模式可以获得硬度和模量vs（压入）深度曲线，可以实现表面硬度和模量2D和3D成像，微纳米压痕实验时压头水平方向压入样品，可以实现蠕变测试，配有多物镜光学显微镜并科通过马达自动切换不同物镜，实现切换不同放大倍率。程序可以在一个或者多个样品的指定位置，定义多达100个试验，每个试验包含400压入点阵，试验会在设定的时间点自动启动、执行。