1. 采用国际公认的高端主流平板扫描器。 2. 闭环扫描范围: XY方向:50 μm,Z方向:15 μm。 3. 系统噪声水平: Z方向噪声水平0.02 nm。 4. XY方向的非线性:<0.05%,Z方向的非线性:<0.015%。 5. 可测样品尺寸:100 mm*100 mm*20 mm。
无
形貌表征