测试范围:0.1 fA-1 A/0.5 µV-200 V;电容测量频率1 kHz-5 MHz,脉冲采样间隔为5 ns;具备I-V和C-V,I-V和脉冲发生器自动切换功能
无
对晶体管、集成电路进行电学测量