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主要规格及技术指标

1.★工作方式：XYZ三方向均为探针扫描方式，扫描过程中样品保持静止，可提供开放式样品台空间，方便外部施加光、电、磁、热等信号。
2.★快速高分辨大范围扫描器：XY方向扫描范围≥90μm，Z方向扫描范围≥10μm，扫描速度≥80Hz。
3.★XY方向闭环噪音水平RMS≤0.15nm，Z方向闭环噪音水平≤35pm，可实现稳定的云母或方解石原子图像。
4.★光学系统：500万像素彩色CCD，最大视场范围≥1mm，马达驱动自动聚焦数字化缩放，计算机控制照明，软件可直接存储光学图像。
5.至少包含三个全数字锁相放大器，控制器反馈响应时间小于2微秒，数据采样速率达到50MHz。
6.Thermal Tuning智能探针标定功能：通过热振动方式标定探针的弹性常数，测试频率范围不小于2MHz，适应各种弹性常数探针。
7.提供定量相位成像模式：-180º到+180º全线性相位成像，预留BNC接口可供用户提取或输入信号，方便定制实验或进行二次开发。
8.★峰值力轻敲模式：采用2kHz的频率在整个表面做力曲线，利用探针和样品之间的峰值力做反馈，峰值力setpoint值低于20pN。
9.智能扫描模式：工作机理为峰值力轻敲模式，而不是轻敲模式。在扫描过程中系统自动调整反馈参数，可直接在空气或液体环境下实现智能扫描成像。
10.抬起模式：可将形貌信息和其他信息（例如磁力、静电力、力调制等信息）分离，避免把形貌信息混合在所想要得到的信息中。
11.★扭转共振模式：通过检测探针横向的振幅和相位信号更好的追踪样品的表面形貌，能实现对粘性很强样品的形貌测试，以及各向异性材料的不同方向特性检测。
12.静电力显微镜：基于抬起模式，可以对样品表面的电场/电荷分布进行扫描成像，可将形貌信息与静电力信息分离。
13.磁力显微镜：可以对样品表面的磁畴分布进行扫描成像，磁力显微镜与扭转共振模式结合成扭转共振-磁力显微镜模式。
14.★压电力显微镜：可以在远离接触共振或在接触共振频率附近同时扫描面内、面外畴成像，获取面内和面外的压电响应信息，在纳米尺度测量压电材料的电滞回线和蝴蝶曲线。可加交流电压范围为：最大12V；外接信号可加直流电压范围为：+/-220V。
15.基于力谱的压电力显微镜：非接触模式下工作，同时测量并相互关联压电响应与表面电势（功函数）分布以及薄膜导电性、漏电流等性质。包括峰值力压电响应模式, 数据立方体压电响应模式，数据立方体接触共振压电响应模式。
16.★定量机械力学测试功能：在空气和液体环境下对样品表面形貌进行成像的同时直接获得其定量的纳米力学性能，包括模量、粘附力、能量损失、样品变形量。杨氏模量测试范围10KPa~100 GPa，粘附力10pN~10μN。包括一个可支持三个位置放置样品的样品支架，可以自动执行软件中的工作流程。能够Optical QR读取，可直接上传标定探针的参数计算高精度的模量结果。
17.★具有峰值力开尔文探针显微镜：包括振幅调制和频率调制两种方式，可工作在轻敲模式和峰值力轻敲模式下，包含高压模块可扩展表面电势成像范围至±200V，电势成像的空间分辨率优于20nm。
18.★具有峰值力成像隧道电流测试功能：通过测量探针与样品之间的超低电流对其电学性质进行成像，可工作在接触模式和峰值力轻敲模式下，最低测量电流≤100fA，最高测量电流≥1µA；工作在峰值力轻敲模式下，峰值力控制≤20pN，可实现对接触模式会损伤的软或松散样品进行电流成像。
19.★纳米电学液态成像模式：可以在液体环境下实现样品表面空间分辨率优于100nm的原位电流、表面电势、压电力响应扫描成像，并同时获取样品表面纳米尺度形貌及力学特性的多维信息。
20.★样品台上可放置直径≥210mm和高度≥15mm的样品，通过程序控制马达移动样品台，可在全样品区域内寻找目标测试位置、快速精确的定位并进行测试。
21.马达控制全自动移动样品台，样品台移动范围≥180mm×150mm，定位精度可达单向2μm重复性，可程序控制多点扫描及多样品扫描。样品台具有真空吸附样品的功能，具有360º可旋转功能。
22.系统软件：在线扫描软件和离线图像处理分析软件都运行在64位Windows 系统环境，兼容性好，可高速采集并处理大量数据，软件安装不受数量限制且终身免费升级至最新版本。
提供外接信号端口，开放主机与控制器之间的信号，可允许用户外加信号或分析信号。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

在不同的环境条件下原位对高分子材料和有机材料进行原子级分辨的成像，同时在纳米尺度对品表面物理化学特性进行研究