Z方向闭环噪音水平要求:< 35 pm;系统噪音水平要求:RMS < 30 pm;水平闭环控制< 0.35 Å(图象测试);XY方向闭环噪声水平:< 0.15 nm
无
测量薄膜材料的形貌、厚度、粗糙度、表面电势、铁电等