Dimension ICON型号原子力显微镜扫描管 XY方向扫描范围90um x 90um,垂直方向扫描范围10um。 XYZ三方向闭环可与应用模块匹配的扫描头,带有温度补偿传感器的闭 环操作可用于精密成像,定位,缩放和纳米刻蚀
无
主要是测试平整薄膜表面粗糙度和表面电势分布